EFEM CLEAN TRANSPORT SYSTEMS SINFONIA VIETNAM

GIỚI THIỆU VỀ SẢN PHẨM VÀ HÃNG

EFEM (Equipment Front End Module) là hệ thống vận chuyển và trung chuyển wafer tự động thuộc dòng Clean Transport Systems do SINFONIA Technology (Nhật Bản) phát triển.
Được thiết kế chuyên dụng cho ngành công nghiệp bán dẫn, điện tử và thiết bị quang học, EFEM đóng vai trò kết nối giữa robot, băng tải và máy xử lý wafer, đảm bảo quá trình vận chuyển diễn ra chính xác, sạch và an toàn tuyệt đối.
Với kinh nghiệm hàng đầu trong lĩnh vực tự động hóa và điều khiển chuyển động, SINFONIA EFEM mang đến hiệu suất vận hành vượt trội, độ sạch tối đa và độ tin cậy cao, phù hợp với các nhà máy sản xuất hiện đại tại Việt Nam.

ĐẶC ĐIỂM CỦA SẢN PHẨM EFEM

TÍNH NĂNG NỔI BẬT

• Thiết kế đạt chuẩn clean-room Class 1 – 1000

• Vận chuyển wafer chính xác, không phát sinh bụi

• Tích hợp robot gắp wafer với độ lặp lại cao và tốc độ nhanh

• Hỗ trợ giao tiếp SEMI chuẩn, dễ kết nối với các thiết bị xử lý wafer

• Cấu trúc mô-đun linh hoạt, dễ dàng tùy chỉnh và mở rộng

• Giảm thiểu rung, đảm bảo an toàn cho wafer mỏng và nhạy cảm

• Hoạt động ổn định liên tục trong môi trường công nghiệp khắt khe

• Tiết kiệm năng lượng và dễ dàng bảo trì

THÔNG SỐ KỸ THUẬT SẢN PHẨM EFEM SINFONIA VIETNAM

ỨNG DỤNG CLEAN TRANSPORT SYSTEMS SINFONIA VIETNAM

PHẠM VI SỬ DỤNG

• Hệ thống sản xuất wafer bán dẫn và vi mạch điện tử

• Dây chuyền xử lý, kiểm tra và đóng gói wafer tự động

• Tích hợp với thiết bị CMP, CVD, PVD, Etching, hoặc Inspection Tool

• Phòng sạch trong nhà máy sản xuất MEMS và cảm biến hình ảnh

• Ứng dụng trong các trung tâm nghiên cứu, thử nghiệm wafer và thiết bị bán dẫn

KẾT LUẬN

EFEM Clean Transport Systems SINFONIA là giải pháp toàn diện cho vận chuyển wafer tự động, đáp ứng mọi yêu cầu khắt khe về độ sạch, độ chính xác và tốc độ trong ngành công nghiệp bán dẫn.
Với thiết kế mô-đun linh hoạt, khả năng kết nối mạnh mẽ và độ tin cậy cao, sản phẩm này giúp tối ưu hóa dây chuyền sản xuất, giảm thời gian thao tác và nâng cao chất lượng đầu ra.
SINFONIA EFEM là lựa chọn hàng đầu cho các doanh nghiệp Việt Nam trong lĩnh vực bán dẫn, điện tử và công nghệ cao, hướng tới hiệu suất vượt trội và chuẩn sạch quốc tế.

Hãy liên hệ ngay với Jon & Jul để được tư vấn và trải nghiệm các giải pháp từ SINFONIA VIETNAM! Chúng tôi sẵn sàng đồng hành cùng bạn trong mọi dự án.